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產(chǎn)品介紹：碳化硅舟(光伏級(jí))結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，材料熱穩(wěn)定性能好，高溫使用不變形，(半導(dǎo)體級(jí))材料純度高，具有高純度基體和碳化硅薄膜，避免了雜質(zhì)引入，減少了工藝制程中對(duì)設(shè)備環(huán)境的污染，有效提高產(chǎn)品品質(zhì)。
主要特點(diǎn)：
碳化硅舟(光伏級(jí))結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，材料熱穩(wěn)定性能好，高溫使用不變形，(半導(dǎo)體級(jí))材料純度高，具有高純度基體和碳化硅薄膜，避免了雜質(zhì)引入，減少了工藝制程中對(duì)設(shè)備環(huán)境的污染，有效提高產(chǎn)品品質(zhì)。
應(yīng)用范圍：
適用于光伏設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備中晶圓的關(guān)鍵承載部件。
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