目前，國內(nèi)半導(dǎo)體晶圓擴散設(shè)備用純度為99.999~99.9999%的碳化硅懸臂槳、爐管及舟完全依賴進口，全款訂貨需要24-36個月的交付周期，隨著 國 家對半導(dǎo)體行業(yè)自主可控戰(zhàn)略的實施，尋求國產(chǎn)替代已迫在眉睫。
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