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目前，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體晶圓擴(kuò)散設(shè)備用純度為99.999~99.9999%的碳化硅懸臂槳、爐管及舟完全依賴進(jìn)口，全款訂貨需要24-36個(gè)月的交付周期，隨著 國(guó) 家對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)自主可控戰(zhàn)略的實(shí)施，尋求國(guó)產(chǎn)替代已迫在眉睫。
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