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立式碳化硅舟 more+ 碳化硅舟應(yīng)用半導(dǎo)體立式爐，主要應(yīng)用于高溫氧化環(huán)節(jié)和高溫退火環(huán)節(jié)。 
碳化硅擴(kuò)散管 more+ 碳化硅擴(kuò)散管應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓擴(kuò)散設(shè)備，目前國內(nèi)高 端需求完全依賴進(jìn)口。 碳化硅舟 more+ 碳化硅晶舟是用于晶圓擴(kuò)散工藝的傳輸與承載工具，是半導(dǎo)體單晶硅片生產(chǎn)線上的主要消耗品。 
碳化硅懸臂槳 more+ SiC懸臂槳是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。目前半導(dǎo)體用帶CVD涂層的槳完全依賴進(jìn)口。 
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