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產(chǎn)品介紹:SiC懸臂槳是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。目前半導(dǎo)體用帶CVD涂層的槳完全依賴進(jìn)口。
SiC懸臂槳是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。目前半導(dǎo)體用帶CVD涂層的槳完全依賴進(jìn)口。
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