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產(chǎn)品介紹:碳化硅舟(光伏級)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,材料熱穩(wěn)定性能好,高溫使用不變形,(半導體級)材料純度高,具有高純度基體和碳化硅薄膜,避免了雜質(zhì)引入,減少了工藝制程中對設備環(huán)境的污染,有效提高產(chǎn)品品質(zhì)。
主要特點:
碳化硅舟(光伏級)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,材料熱穩(wěn)定性能好,高溫使用不變形,(半導體級)材料純度高,具有高純度基體和碳化硅薄膜,避免了雜質(zhì)引入,減少了工藝制程中對設備環(huán)境的污染,有效提高產(chǎn)品品質(zhì)。
應用范圍:
適用于光伏設備、半導體設備中晶圓的關鍵承載部件。
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